一、TOC——水中有机污染的“通用货币”
无论制药、半导体还是电厂,都把“总有机碳”当成交叉标杆:
制药纯化水:USP<643>限值500 ppb;
半导体超纯水:SEMI F63限值50 ppb;

电厂凝结水:GB/T 12145-2016建议≤200 ppb。
TOC升高=有机物总量升高,后续可能滋生生物膜、腐蚀、产品杂质,因此“测碳”就是“测风险”。
二、燃烧氧化-NDIR:一条火路把碳“烧”成数字
流程:
采样→酸化吹除IC(无机碳);
高温催化燃烧(680-900℃)把有机碳→CO₂;
非分散红外(NDIR)检测CO₂吸收峰;
碳质量守恒换算,结果以“ppb C”或“μg C/L”输出。
优点:一次性转化、无需柱分离、检测限<1 ppb,成为国内外药典、SEMI标准的首选方法。
三、三大应用场景
制药:纯化水、WFI、清洗验证
离线:实验室TOC水质测定仪带自动进样器,96位样板→20 min出具报告,用于批次放行的USP<643>测试;
在线:制水回路TOC传感器连续记录,偏差>50 ppb立即报警,避免整罐水报废。
半导体:超纯水制备与晶片工艺
抛光树脂后安装在线水质TOC分析仪,监控树脂“穿透”拐点;
晶圆冲洗水实时TOC曲线与颗粒度、细菌交叉关联,发现异常可秒级切断阀门,降低废品率。
电厂:凝结水、给水、蒸汽
加氧处理(OT)工况下,TOC>200 ppb提示有机污染,可能破坏钢表面钝化膜;
与氢电导率、钠离子联动,快速判断冷凝器是否泄漏或补给水是否被污染。
四、性能“硬指标”怎么选
检测限:制药≤0.5 ppb、半导体≤0.05 ppb;
线性:0-2000 ppb相关系数R≥0.999;
重现性:RSD≤2%(n=7);
分析速度:在线型≤3 min/次,离线型≤6 min/样;
软件:21 CFR Part 11电子签名、审计追踪、三级权限,药厂必须通过。
五、操作“三板斧”
系统适用性
取100 ppb C蔗糖、100 ppb C 1,4-苯醌,回收率85-115%,RSD≤5%,才能开始正式样品。
定期校准
使用NIST可溯源KHP(邻苯二甲酸氢钾)标准液,0、100、500、1000 ppb四点校准,斜率漂移>5%必须重校。
维护清单
燃烧管催化剂每6个月翻转一次,防止“沟流”;
NDIR光源每8000h更换,避免基线漂移;
酸试剂(2mol/L HCl)每周更换,保证IC吹除效率。
六、常见“假峰”与排除
高IC水样:IC>TOC时,加大酸体积或延长吹扫时间;
颗粒堵塞:0.45μm膜过滤,但须确认膜本身无碳溶出;
管路残留:每天结束用空白水冲洗15min,次日首样弃掉。
七、结语
TOC水质分析仪把“看不见”的有机污染翻译成“碳数字”,成为跨行业的水质“通用语言”。选好原理、盯紧药典/标准、守好校准与维护关,就能让TOC真正发挥“早期预警雷达”的作用——在水质刚出现ppb级波动时,就把风险截停在工厂大门之外。
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